文献

J-GLOBAL ID：201202221405857840   整理番号：12A0811274

噴霧熱分解法によるZnO薄膜の堆積 前駆体溶液特性の影響

ZnO thin films deposition by spray pyrolysis: Influence of precursor solution properties

著者 (6件)： LEHRAKI N. (Lab. des Materiaux Semiconducteur et Metallique-Departement de physique- Univ. de Biskra, DZA) ,  AIDA M.s. (Lab. des Couches Minces et Interfaces Fac. des Sciences -Universite de Constantine, Constantine 25000, DZA) ,  ABED S. (Lab. des Couches Minces et Interfaces Fac. des Sciences -Universite de Constantine, Constantine 25000, DZA) ,  ATTAF N. (Lab. des Couches Minces et Interfaces Fac. des Sciences -Universite de Constantine, Constantine 25000, DZA) ,  ATTAF A. (Lab. des Materiaux Semiconducteur et Metallique-Departement de physique- Univ. de Biskra, DZA) ,  POULAIN M. (Photonic material laboratory-universite de Rennes1, FRA)
資料名： Current Applied Physics  (Current Applied Physics)
巻： 12  号： 5  ページ： 1283-1287  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： W1579A  ISSN： 1567-1739  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の先駆体溶液を用いて噴霧熱分解法により酸化亜鉛(ZnO)薄膜を堆積した。3種の出発溶液塩,すなわち,酢酸亜鉛,塩化亜鉛,硝酸亜鉛を用いた。これらの溶液の性質とZnO膜成長速度へのそれらの影響を調べた。得られた結果は,出発溶液の解離エネルギーが膜成長速度に重要な役割を演ずることを示している。溶液解離エネルギーと成長速度の活性化エネルギーの間に線形の関係があることを見出したた。しかし,使用した溶液の表面張力は,液滴形状の影響を制御する。溶液の表面張力と解離エンタルピーの両方が形成した膜の微細構造を変える。酢酸亜鉛で堆積した膜は滑らかな表面,密なネットワーク,高い透明性で特徴付けられるが,塩化亜鉛で堆積された膜はより良い結晶度と低い光透過率を示す。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *噴霧法 ,  *酸化亜鉛 ,  *薄膜成長 ,  成長速度 ,  *溶液 ,  解離エネルギー ,  活性化エネルギー ,  界面張力 ,  エンタルピー ,  微細構造 ,  塩化亜鉛 ,  *亜鉛化合物 ,  硝酸塩 ,  液滴 ,  結晶度 ,  透過率 ,  前駆体 ,  堆積
準シソーラス用語： 硝酸亜鉛 ,  *噴霧熱分解

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (5件)： 噴霧熱分解法 ,  ZnO薄膜 ,  堆積 ,  前駆体 ,  溶液特性