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J-GLOBAL ID：201202221418926078   整理番号：12A1058245

Ni₇₅Fe₂₅-ZnO粒状膜の軟磁性と高周波特性の膜厚依存性

Dependence of soft magnetic properties and high frequency characteristics on film thickness for Ni₇₅Fe₂₅-ZnO nano-granular films

著者 (6件)： WEI Qingqing (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  LI Zhiqing (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  ZHOU Xueyun (Jiujiang Univ., Jiangxi Province, CHN) ,  TIAN Yong (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  FENG Liefeng (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  YAO Dongsheng (Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 513  ページ： 23-26  発行年： 2012年02月05日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ni₇₅Fe₂₅ターゲットとZnOターゲットからの同時マグネトロンスパッタリングで,水冷した基材にいろいろな厚さのNi₇₅Fe₂₅ZnO粒状膜を析出した。50nm~500nmの厚さの薄膜は明白な面内一軸磁気異方性H_kを示し,その値は膜厚とともに増加した。しかし,磁化容易軸方向および磁化困難軸方向の保磁力には膜厚の影響は認められなかった。500nm厚の膜では磁化困難軸と磁化容易軸の保磁力はそれぞれ0.9Oeと3.7Oeで,抵抗は418μΩcmであった。強磁性共鳴周波数は膜厚とともに増加し,500nm厚の膜では1Ghz以下で複素透磁率の実部は110以上であった。強磁性共鳴周波数は1.65GHzに達し,この膜が高周波用に有望なことを示唆していた。

シソーラス用語： *磁性薄膜 ,  *複合材料 ,  *ニッケル合金 ,  *酸化亜鉛 ,  *磁性 ,  *周波数特性 ,  *膜厚 ,  依存性 ,  ナノ粒子 ,  基板 ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  磁気異方性 ,  方向 ,  磁化 ,  保磁力 ,  電気抵抗率 ,  共振周波数 ,  透磁率 ,  蒸着膜 ,  鉄含有合金 ,  *金属基複合材料
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  *高周波特性 ,  磁化方位 ,  *軟磁性 ,  複素透磁率

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： ZnO ,  軟磁性 ,  高周波特性 ,  膜厚依存性