文献

J-GLOBAL ID：201202221612323210   整理番号：12A1159761

官能化シリコン表面での金属ナノ粒子の生成制御

Controlling the Formation of Metallic Nanoparticles on Functionalized Silicon Surfaces

著者 (3件)： PERRINE Kathryn A. (Univ. Delaware, Delaware, USA) ,  LIN Jia-Ming (Univ. Delaware, Delaware, USA) ,  TEPLYAKOV Andrew V. (Univ. Delaware, Delaware, USA)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 116  号： 27  ページ： 14431-14444  発行年： 2012年07月12日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： モデル錯体前駆体の銅(ヘキサフルオロアセチルアセトナト)ビニルトリメチルシランの化学蒸着によって,表面化学修飾(H,NH,NH₂)官能化Si(100)半導体基板面上に銅ナノ粒子の成長を試みた。NH₂)官能化Si(100)基板がCVDナノ構造成長に適し,室温で最大のナノ粒子の成長を実現した。

シソーラス用語： *結晶成長 ,  *化学蒸着 ,  *銅錯体 ,  *ナノ粒子 ,  *銅 ,  化学修飾 ,  *官能化 ,  *ウエハ【IC】 ,  脂肪族ケトン ,  脂肪族フッ素化合物 ,  ジケトン
準シソーラス用語： シリコン基板

分類 (2件)： 原子・分子のクラスタ  (BH09030O) ,  金属の結晶成長  (BK13030M)

物質索引 (2件)： ビニルトリメチルシラン ,  ヘキサフルオロアセチルアセトン

タイトルに関連する用語 (3件)： 官能化 ,  シリコン ,  金属ナノ粒子