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J-GLOBAL ID：201202221751852057   整理番号：12A0593346

データ包絡分析を利用したAZO伝導性薄膜上のレーザスクライブマイクロ溝の多目的最適化

Multi-objective optimization of laser-scribed micro grooves on AZO conductive thin film using Data Envelopment Analysis

著者 (4件)： KUO Chung-feng Jeffrey (Graduate Inst. of Automation and Control, National Taiwan Univ. of Sci. and Technol., No. 43, Section 4, Keelung ...) ,  QUANG VU Huy (Graduate Inst. of Automation and Control, National Taiwan Univ. of Sci. and Technol., No. 43, Section 4, Keelung ...) ,  GUNAWAN Dewantoro (Graduate Inst. of Automation and Control, National Taiwan Univ. of Sci. and Technol., No. 43, Section 4, Keelung ...) ,  LAN Wei-luen (Dep. of Materials Sci. and Engineering, National Taiwan Univ. of Sci. and Technol., Taipei 106, Taiwan, Republic of ...)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 44  号： 6  ページ： 1959-1970  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜太陽電池上の表面テクスチャ化のための有効なアプローチとしてレーザスクライブプロセスを検討した。この研究では,優れた品質特性を達成するために,ファイバレーザシステムの多目的プロセスパラメータ最適化の系統的な方法を提案した。例えば,薄膜太陽電池の入射光吸収を増大するために,最小スクライブ線幅,最も平らな谷部底部,最小処理エッジ表面バンプなどであった。最初に,TAGUCHIメソッド(TM)を利用して,実験で直交アレイにより有用な統計的情報を得た。しかし,TMは単一対物レンズ問題の最適化には適当であるが,不確実性を誘起する多目的問題の解析には,エンジニアリング的に判断しなければならない。不完全データを推定し,スクライブレーザの最適プロセスパラメータを導出すために,バックプロパゲーション神経回路網(BPNN)とデータ包絡分析(DEA)を利用した。また,プスクライブ品質に最も大きな効果を及ぼす因子を特定するために,分散分析(ANOVA)を適用した。つまり,これらの制御可能で重大な因子を強調することにより,スクライブ薄膜の品質特性を効果的に増強することができた。厚み500nmのZnO:Al(AZO)透明導電性薄膜を実験で検討した。この結果,本アプローチがTMよりも良い予想品質を与えるが,他の品質を犠牲にして品質だけを改善できることを実証した。確認実験の結果から,この方法の信頼性を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  マイクロマシニング ,  溝加工 ,  最適化 ,  太陽電池 ,  データ解析 ,  性能分析 ,  *酸化亜鉛 ,  アルミニウム ,  導電性 ,  *半導体薄膜
準シソーラス用語： データ包絡分析 ,  *レーザスクライブ ,  多目的最適化 ,  薄膜太陽電池

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： データ包絡分析 ,  Azo ,  薄膜 ,  多目的最適化