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J-GLOBAL ID:201202222061679235   整理番号:12A1095953

InSb上でのErSbの進化の反射吸収赤外分光分析

Reflection absorption infrared spectroscopy analysis of the evolution of ErSb on InSb
著者 (11件):
資料名:
巻: 606  号: 19-20  ページ: 1556-1559  発行年: 2012年10月 
JST資料番号: C0129B  ISSN: 0039-6028  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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低圧金属有機化学蒸着(MOCVD)により,InSb(100)基板上にエピタキシャル成長したインジウムアンチモン(InSb)層上に蒸着したエルビウムアンチモン(ErSb)の少量を測定するために,使用した微小角赤外線吸収に基づくex-situモニタリング技術を検討した。エピタキシャルInSb層の一番上の表面に関連する1754.5cm-1でモードを広げているインジウム水素(InH)からの赤外線吸収を,ErSb表面被覆の種々のレベルと比較するために用いた。ErSb蒸着(7.2~21.5単層)の被覆率が異なる4つの試料の中で,ErSbの表面被覆率が増加するにつれて弱まるInHと異なる赤外線吸収ピークを検出した。ErSb蒸着の初期段階では,InSbのバッファ層の最外側のインジウム原子が,InHモードに関連する吸収の増加をもたらすErによって置換されることを,この研究は示唆する。この単純なex-situ手法を用いて,数~数十単層の蒸着に対して,個々のInSb基板上に蒸着するErSb量を調製することができることを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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金属の表面構造  ,  その他の無機化合物の結晶成長 
タイトルに関連する用語 (3件):
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