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J-GLOBAL ID：201202222341634849   整理番号：12A0542419

CrドープのDLC皮膜と潤滑添加剤の相乗効果

Synergistic Effect of Cr-doped DLC Coatings and Lubricant Additives

著者 (9件)： SUN Jian (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  ZHANG Wei (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  FU Zhi-Qiang (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  WANG Cheng-Biao (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  YUE Wen (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  PENG Zhi-Jian (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  YU Xiang (China Univ. Geosciences, Beijing, CHN) ,  LIN Song-Sheng (Guangzhou Res. Inst. Non-ferrous Metals, Guangzhou, CHN) ,  DAI Ming-Jiang (Guangzhou Res. Inst. Non-ferrous Metals, Guangzhou, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 492  ページ： 155-159  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Crターゲットのマグネトロンスパッタリングと,イオンビーム析出とを組み合わせて,Si(100)ウエハーとS31600ステンレス鋼の表面に,厚さが約2.3μmの,いろいろなCr含有量のDLC(ダイアモンド状炭素)を析出した。このDLC膜をSEM,XPS,ナノインデンテーションなどでキャラクタリゼーションした。さらに,径4mmのSi₃N₄の球のついた,ボールオンディスク式のトライボロジー試験機で,摩耗特性を測定した。その際の潤滑剤として,ポリアルファオレフィン合成油(PAO-4)を基剤とし,これにいろいろな目的の添加剤を加えたものを検討した。DLCを被覆したステンレス鋼の耐磨耗性は,液体潤滑剤と組み合わせることによってさらに向上した。DLC中へのCrの添加は,潤滑剤中の添加剤の種類によって,プラスに働く場合とマイナスに働く場合があった。いろいろな潤滑油の組成に対する最適なCr添加量に言及した。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *クロム ,  *ドーピング ,  マグネトロンスパッタリング ,  イオンビーム蒸着 ,  母材 ,  ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  *ステンレス鋼 ,  キャラクタリゼーション ,  トライボロジー ,  摩耗 ,  潤滑剤 ,  *相乗作用 ,  耐摩耗性 ,  *潤滑 ,  添加剤
準シソーラス用語： *Siウエハ ,  基材 ,  相乗効果

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (6件)： Cr ,  ドープ ,  DLC ,  皮膜 ,  潤滑添加剤 ,  相乗効果