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J-GLOBAL ID:201202222754059591   整理番号:12A1422592

ポリイミドとガラス基材の上の無電解Ni-P皮膜ミクロ組織の変化と電気伝導率への,水素プラズマ処理の影響

Effects of hydrogen plasma treatment on microstructure evolution and electrical conductivity of electroless Ni-P coatings on polyimide and glass substrates
著者 (2件):
資料名:
巻: 209  ページ: 80-89  発行年: 2012年09月25日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ポリイミドとガラスの基材に様々な厚さの無電解Ni-P皮膜を析出し,続いて,空気中での熱処理やマイクロ波支援水素プラズマ処理を施した。X線回折(XRD),走査型電子顕微鏡(SEM),透過型電子顕微鏡(TEM),およびHall効果測定を使用して,ミクロ構造と電気伝導率への,基材と水素プラズマ処理の影響を詳細に調べた。基材はNi-P皮膜の析出速度,粒径,準安定相のタイプ,結晶化度,抵抗率,担体移動性,および担体濃度に影響する可能性があった。また,1分間の600Wの水素プラズマ処理は,析出したままの状態,もしくは300°Cで3hの時間空気中で加熱した後の状態の皮膜と比べて,より均一な,より低い抵抗率の皮膜をもたらすことができた。プラズマ処理後のNi-P皮膜はより高いキャリア移動度を示した。一方,析出状態の皮膜はより高いキャリア濃度を示した。なお,プラズマ処理前には空気中の熱処理はNi-P皮膜の電気伝導率を高めた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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表面処理  ,  ガラスの製造 
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