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J-GLOBAL ID：201202223015282769   整理番号：12A0259788

ガラス基板のクリーン度管理:異物検査技術

著者 (1件)： 松村淳一 (東レエンジニアリング)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 22  号： 2  ページ： 29-32  発行年： 2012年02月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 東レエンジニアリング社は15年以上に渡ってフラットパネルディスプレイ(FPD)生産工程で重要な異物検査装置の性能向上に取り組んできた。その異物検査技術の基本原理と同社の経験に基づく知見を下記の項目について紹介した。1)光散乱法を用いた異物検査技術の基本原理,2)ライン状のレーザ光をガラス基板上に低角度で照射して,その散乱光を検出するFPD用異物検査装置の概要,3)小型化と高速化を同時に追求する異物検査装置の性能と用途,4)現在開発中の高速全数インライン検査をコンセプトとした異物検査・欠陥検査装置。

シソーラス用語： *フラットパネルディスプレイ ,  生産工程 ,  *汚染物質 ,  *試験装置 ,  光散乱 ,  基板 ,  清浄度 ,  小型化 ,  高速化 ,  塵埃 ,  *板ガラス ,  検査
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  レーザー光散乱 ,  異物検査 ,  *異物検査装置

分類 (2件)： 表示機器  (NC06030Q) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガラス基板 ,  クリーン度 ,  異物検査