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J-GLOBAL ID:201202223198739673   整理番号:12A0269243

希釈硼素系BAlN合金に基づく紫外オプトエレクトロニック応用のための分布Bragg反射器

Distributed Bragg reflectors based on diluted boron-based BAlN alloys for deep ultraviolet optoelectronic applications
著者 (18件):
資料名:
巻: 100  号:ページ: 051101  発行年: 2012年01月30日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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BAlN材料系に基づく高反射率の深紫外分布Bragg反射器(DBR)をAlNテンプレート本質的に有機金属気相エピタクシー(MOVPE)により成長させた。これらの構造は深紫外におけるBAlNの透明性と,280nmで>0.27であることが実証されている,BAlNとAlNの間の高い屈折率コントラストを利用する。18対のBAlN/AlN DBRは311nmで82%の実験ピーク反射率と20nmのストップバンド幅を示した。24対のBAlN/AlN DBR構造は282nmで実験ピーク反射率60%とストップバンド幅16nmを示した。(翻訳著者抄録)
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