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J-GLOBAL ID:201202223547649385   整理番号:12A0758727

トップシーディング法によるSiCの成長速度の数値解析

Numerical analysis of the velocity of SiC growth by the top seeding method
著者 (4件):
資料名:
巻: 348  号:ページ: 71-74  発行年: 2012年06月01日 
JST資料番号: B0942A  ISSN: 0022-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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溶液成長過程におけるSiC結晶の成長速度を,Si-Cシステムの相図に関連した熱と質量移動のグローバルモデルに基づいて研究した。成長率を,種結晶への炭素のフラックスによって評価した。計算結果は,種結晶の温度が増加したとき,成長速度が増大するのを示した。成長速度の温度依存性はSi-Cシステムの相図によって主に決定された,しかし,炉における温度分布を変えることによってフローパターンはわずかしか改変されなかった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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その他の無機化合物の結晶成長 
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