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J-GLOBAL ID：201202223709351105   整理番号：12A1567259

レーザ光の照射されたGeにおけるSbの異常な輸送

Anomalous transport of Sb in laser irradiated Ge

著者 (9件)： BRUNO E. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, ITA) ,  SCAPELLATO G. G. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, ITA) ,  LA MAGNA A. (CNR-IMM, Zona Industriale VIII strada 5, 95121 Catania, ITA) ,  CUSCUNA M. (CNR-IMM, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, ITA) ,  NAPOLITANI E. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Padova, Via Marzolo 8, 35131 Padova, ITA) ,  BONINELLI S. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, ITA) ,  PRIOLO F. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, ITA) ,  FORTUNATO G. (CNR-IMM, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, ITA) ,  PRIVITERA V. (MATIS IMM-CNR and Dipartimento di Fisica e Astronomia, Universita di Catania, Via S. Sofia 64, 95123 Catania, ITA)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 101  号： 17  ページ： 172110-172110-5  発行年： 2012年10月22日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エキシマレーザによるアニーリング処理は,Ge中へのSbの混入を促進するのに非常に有効で,1×10²¹原子/cm³に至るSbの混入が可能である。しかし,Geがレーザ光照射によって融解した場合には,融解領域に過剰な空格子点が形成されることを実証する。形成されたこれらの空格子点は,濃度勾配に逆らって表面に向かうSbの逆拡散に繋がる場合においても更なるSb原子のシンクとして働くSb_m-V_nから成る複合体を形成することによって,融解深さ領域におけるSbを電気的に不活性にすることが分かった。これらの結果は,Geを基本とする新しいマイクロ素子やオプトエレクトロニクス素子を開発するための基礎となる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *ゲルマニウム ,  半導体 ,  レーザ融解 ,  エキシマレーザ ,  レーザアニーリング ,  *アンチモン ,  *取込 ,  融解 ,  空格子点 ,  複合欠陥 ,  二次イオン質量分析 ,  透過型電子顕微鏡 ,  断面 ,  計算機シミュレーション ,  輸送現象 ,  固体内拡散 ,  拡散
準シソーラス用語： XTEM【顕微鏡】 ,  逆拡散

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  固体中の拡散一般  (BL06021L)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ光 ,  Ge ,  Sb ,  輸送