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J-GLOBAL ID：201202223727455929   整理番号：12A1006016

4H-SiC中の遷移金属の拡散およびゲッタリング

Diffusion and gettering of transition metals in 4H-SiC

著者 (8件)： DANNO K. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SAITOH H. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SEKI A. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SHIRAI T. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  SUZUKI H. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  BESSHO T. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  KAWAI Y. (Toyota Motor Corp., Shizuoka, JPN) ,  KIMOTO T. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 717/720  号： Pt.1  ページ： 225-228  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： 4H-SiC ,  遷移金属 ,  拡散 ,  ゲッタリング