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J-GLOBAL ID：201202224066689282   整理番号：12A1219665

磁歪振動ポリッシャーを用いたタングステンカーバイドの微小研磨

Micro Polishing of Tungsten Carbide using Magnetostrictive Vibrating Polisher

著者 (6件)： GUO Jiang (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SUZUKI Hirofumi (Chubu Univ., Aichi, JPN) ,  SUZUKI Hirofumi (Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  MORITA Shin-ya (Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  YAMAGATA Yutaka (Inst. Physical and Chemical Res., Saitama, JPN) ,  HIGUCHI Toshiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 516  ページ： 569-574  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 磁歪振動ポリッシャーの円形振動を用いて新しい振動援助研磨法を開発した。ポリッシャーは,磁歪振動子と小さな研磨工具からなり,磁歪振動子のヘッドに小さな研磨工具を取り付けた。磁歪振動ポリッシャーの具体的設計を,有限要素法により援助し,振動モード解析により第4モードを選択した。磁歪振動ポリッシャーの利点は,小型化の可能性,加工性,外力に対する安定性,駆動の低電圧と高出力密度である。圧電アクチュエーターを用いて開発されたものと比較し,簡単に作製され,低電圧電源で制御されるので,費用性能比の良い技術である。磁歪振動ポリッシャーは,半径30μmで振動数9.2kHzの円形軌跡を持つ振動を生成した。基礎研磨実験により除去機能を得て,9nmRz(1nmRa)の表面粗さを得た。結果は,それが微小タングステンカーバイド研磨の使用に適することを示し,横振動と比較して,円形振動はより高い研磨効率を持ち,より低い表面粗さを生じた。

シソーラス用語： *炭化タングステン ,  *磁歪 ,  *研磨機 ,  *研磨 ,  振動子 ,  工具 ,  加工性 ,  安定性 ,  表面粗さ ,  有限要素法 ,  横振動
準シソーラス用語： 回転振動 ,  研磨工具 ,  *振動研磨 ,  精密研磨

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 磁歪 ,  ポリッシャー ,  タングステンカーバイド ,  微小 ,  研磨