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J-GLOBAL ID：201202224181081549   整理番号：12A0929862

微小液滴蒸発を測定するための共鳴MEMS質量センサ

Resonant MEMS Mass Sensors for Measurement of Microdroplet Evaporation

著者 (6件)： PARK Kidong (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  KIM Namjung (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  MORISETTE Dallas T. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  MORISETTE Dallas T. (Group 4 Dev., LLC, IN, USA) ,  ALURU N.R. (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  BASHIR Rashid (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 3  ページ： 702-711  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高感度と小型サイズを動機として,マイクロ電気機械システム(MEMS)に基づく共鳴質量センサを幅広く研究した。このセンサは,マイクロスケールの物理プロセスをモニタするのと同様にマイクロ及びナノサイズ粒子を検出するのに向いている。物理及び生物分野においては,微小液滴の蒸発プロセスを正確に評価し,正確に制御することが大変重要である。しかし,適した測定ツールがないため,微小液滴の蒸発プロセスを十分に評価できていなかった。ここでは,均一な質量感度を持つ自己振動MEMS質量センサを導入し,直接,蒸発する微小液滴の質量変化を測定した。この質量センサは,空間均一な質量感度を与えるユニークなばね構造を持っている。センサ速度は操作信号にフィードバックされ,自己振動を生じさせ,共鳴周波数の速い決定を可能にする。ジメチルスルホキシドと水の単一微小液滴における蒸発速度を得ることができた。微小液滴の測定した蒸発速度とシミュレーションした表面積によって,両液体の蒸発エンタルピーを抽出し,文献値と一致することが分かった。ここで開発した方法は,以下の急速な質量変化を含むマイクロスケール物理プロセスに対する我々の理解を増進する価値あるツールである。急速質量変化とは,蒸発,堆積,自己集合,凍結保存,そして,他の生物学的応用である。

シソーラス用語： *センサ ,  *質量 ,  MEMS ,  液滴 ,  蒸発 ,  共鳴 ,  有限要素法 ,  走査電子顕微鏡 ,  周波数依存性 ,  温度依存性 ,  蒸発熱 ,  凍結保存 ,  等価回路 ,  脂肪族化合物 ,  スルホキシド
準シソーラス用語： SEM【顕微鏡】 ,  質量センサ ,  蒸発エンタルピー ,  微小液滴

分類 (1件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z)

物質索引 (1件)： ジメチルスルホキシド

タイトルに関連する用語 (5件)： 微小 ,  液滴蒸発 ,  共鳴 ,  MEMS ,  質量センサ