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J-GLOBAL ID：201202224435308999   整理番号：12A1776459

ウエハーレベル共晶接合を使用して製造されている非常に大きいガスの流れ制御のためのSMAマイクロバルブ

SMA Microvalves for Very Large Gas Flow Control Manufactured Using Wafer-Level Eutectic Bonding

著者 (5件)： GRADIN Henrik (KTH Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE) ,  BRAUN Stefan (KTH Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE) ,  BRAUN Stefan (Robert Bosch GmbH, Reutlingen, DEU) ,  STEMME Goeran (KTH Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE) ,  VAN DER WIJNGAART Wouter (KTH Royal Inst. Technol., Stockholm, SWE)
資料名： IEEE Transactions on Industrial Electronics  (IEEE Transactions on Industrial Electronics)
巻： 59  号： 12  ページ： 4895-4906  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： C0234A  ISSN： 0278-0046  CODEN： ITIED6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガスバルブのようなガス制御要素はオートメーションおよび自動車産業で基本的なビルディングブロックである。市場では,微細化,集積化,原価低減のトレンドがあり,これは,また,ガスバルブにも適合する。本論文ではAu-Si共晶接合でSMA(形状記憶合金)の最初のウエハーレベル集積をシリコンに示し,70kPaにおける3100sccmのフロー制御と3.3mm2のみのアクティブなMEMS足跡があるマイクロバルブをもたらした。これらのバルブには,13.4sccm/kPa/mm2の性能/足跡があり,それは以前の集積化アクチュエータのある以前のマイクロバルブより3倍以上高い。そのうえ,設計パラメータの更なる調律は更なる性能改善すらもたらすかもしれない。

シソーラス用語： 弁 ,  *形状記憶合金 ,  *気体 ,  制御 ,  ウエハ【IC】 ,  *結晶構造 ,  自動化 ,  自動車工業 ,  ブロック ,  回路モジュール ,  MEMS ,  改良
準シソーラス用語： オートメーション ,  ガス ,  ビルディングブロック ,  *マイクロバルブ ,  共晶構造 ,  自動車産業 ,  性能改善 ,  流れ制御【流体】

分類 (2件)： 配管材料,弁  (QD05020E) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 共晶 ,  流れ制御 ,  SMA ,  マイクロバルブ