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J-GLOBAL ID:201202224468253324   整理番号:12A0430819

ヘリコンプラズマ中のアルゴンイオンの速度分布関数の連続波空洞リングダウン分光測定

Continuous wave cavity ring down spectroscopy measurements of velocity distribution functions of argon ions in a helicon plasma
著者 (4件):
資料名:
巻: 83  号:ページ: 023508  発行年: 2012年02月 
JST資料番号: D0517A  ISSN: 0034-6748  CODEN: RSINAK  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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低圧アルゴンヘリコンプラズマ(磁場強度600G,Te≒4eV,n≒51011cm-3)中のイオン速度分布関数(VDF)の連続波空洞リングダウン分光(CW-CRDS)測定を報告する。レーザ誘起蛍光(LIF)を定期的に用いてヘリコン源中のアルゴンイオン,中性アルゴン,中性ヘリウム,キセノンイオンのVDFを測定した。LIFが応用できない同じ領域でVDFを測定する代替技術として狭線幅,可変波長ダイオードレーザに基づくCW-CRDS診断について述べた。CW-CRDSは超高感度の共振器増強吸収分光技術であり,絶対準安定状態密度の直接定量測定も提供する。本論文で示したCW-CRDSの原理実証測定は668.6138nmにおけるAr IIのDoppler広がり吸収スペクトルの測定である。これらの初期測定から外挿して,この診断は1×109cm-3~1×1013cm-3及びターゲット種の温度≦20eVのプラズマ中の中性粒子とイオンに適すると期待される。(翻訳著者抄録)
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