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J-GLOBAL ID：201202225035367950   整理番号：12A0189816

CMOS-MEMSポリシリコン/チタンサーモパイル赤外線センサの完全定量キャラクタリゼーション

Fully quantitative characterization of CMOS-MEMS polysilicon/titanium thermopile infrared sensors

著者 (1件)： CHEN Chung-nan (Inst. of Photonics and Communications, National Kaohsiung Univ. of Applied Sciences, Kaohsiung, Taiwan, TWN)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 161  号： 1  ページ： 892-900  発行年： 2012年01月03日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高感度CMOS-MEMSポリシリコン/チタンサーモパイル赤外線センサの完全定量キャラクタリゼーションを,不連続光線追跡及び固体伝導のシミュレーション,及び大気及び真空における電圧応答及び周波数応答の測定により実証した。空気中で17.0ms及び真空中で37.0msの熱時定数を,周波数応答の測定により推定した。固体コンダクタンス,ガスコンダクタンス,放射損失,熱容量,さらに,電圧応答,センサ雑音,雑音等価電力,及び比検出率をシミュレーション及び測定によりキャラクタライズした。センサは,発表されているCMOS-MEMSに較べて,最高の比検出率を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *赤外検出器 ,  *熱電対 ,  *ポリシリコン ,  *チタン ,  *MEMS ,  キャラクタリゼーション ,  光線追跡 ,  シミュレーション ,  周波数応答 ,  *CMOS構造
準シソーラス用語： サーモパイル ,  検出率 ,  赤外線センサ ,  熱時定数

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

タイトルに関連する用語 (8件)： CMOS ,  MEMS ,  ポリシリコン ,  チタン ,  サーモパイル ,  赤外線センサ ,  定量 ,  キャラクタリゼーション