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J-GLOBAL ID：201202225355709069   整理番号：12A0097930

イオン注入とリフトオフ加工で製作した単結晶ダイヤモンドミクロ膜の光学特性

Optical properties of single crystal diamond microfilms fabricated by ion implantation and lift-off processing

著者 (13件)： PATTON Brian R. ,  DOLAN Philip R. ,  GRAZIOSO Fabio ,  WINCOTT Matthew B. ,  SMITH Jason M. ,  MARKHAM Matthew L. ,  TWITCHEN Daniel J. ,  ZHANG Yanfeng ,  GU Erdan ,  DAWSON Martin D. ,  FAIRCHILD Barbara A. ,  GREENTREE Andrew D. ,  PRAWER Steven
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 21  ページ： 16-23  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオン注入とリフトオフ法で調製した単結晶ダイヤモンドの~1μm厚膜の製作と特性解析を報告する。高温高圧下で成長した1b型材料と化学蒸着で成長した高純度2a型材料との比較を行った。研究結果は製作工程は1b型材料中の窒素空位色中心からの強い発光を抑制しないことを示している。CVD材料で普通に目につく1332cm^-1Raman線は強く抑制されることが分かる。sp³炭素の20nm厚の損傷層を注入過程による残留損傷を示唆する膜の下側に確認している。これらの結果は色中心が離散光学モードに結びつくダイヤモンドによるデバイスの製作にとって重要である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *単結晶 ,  *薄膜 ,  薄膜成長 ,  状態 ,  プラズマCVD ,  *イオン注入 ,  微細加工 ,  走査光学顕微鏡 ,  共焦点顕微鏡 ,  発光スペクトル ,  *光ルミネセンス ,  高分解能 ,  *表面構造 ,  撮像 ,  反射スペクトル ,  断面 ,  微細構造 ,  透過型電子顕微鏡
準シソーラス用語： リフトオフ ,  高温高圧

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： イオン注入 ,  リフトオフ加工 ,  製作 ,  単結晶ダイヤモンド ,  光学特性