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J-GLOBAL ID：201202225366330339   整理番号：12A0548640

熱フィラメントCVD法によるダイヤモンドの気相合成

Synthesis of Diamond from Gas Phase by Hot Filament CVD

著者 (3件)： 小城左臣 (北九州工高専) ,  福澤剛 (北九州工高専) ,  本田晃一 (北九州工高専)
資料名： 北九州工業高等専門学校研究報告(Web)  (Research Report of National Institute of Technology, Kitakyushu College (Web))
号： 45  ページ： 11-15 (WEB ONLY)  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： U0250A  ISSN： 2185-7598  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドは優れた物理的特性を持っているが,その中で最も電気的に関心のある特性としては半導体となりうることである.半導体としての応用を考える際,エピタキシャル成長した大面積のダイヤモンドが必要となる。本研究では,原料ガスとしてメタンを用いたCVD法によるダイヤモンド合成について述べている。合成容器は直径30cmのステンレス製である。フィラメントと銅電極との通電は,モリブデンのシートでタングステンフィラメントを挟み,先端部を銅電極のスリット部に挟む.さらに,銅電極のネジを締め付けることで,モリブデンとタングステンフィラメントとの電気的接触を保っている。フィラメント温度を2000°C,水素流量を20~100sccm,メタン流量を0.5~2sccmとした時,原料としてエチルアルコールやブタンの場合と同様,比較的大きな面を持つ単結晶のダイヤモンドが得られた。また,テトラポット型に似たダイヤモンドが合成された際には,フィラメントに近い領域に大面積なダイヤモンドが合成された。

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *ダイヤモンド ,  化学合成 ,  *蒸着膜 ,  ヘテロエピタクシー ,  モリブデン ,  タングステン ,  *半導体薄膜 ,  アルカン ,  気相合成 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： *熱フィラメントCVD

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (3件)： 熱フィラメントCVD ,  ダイヤモンド ,  気相合成