抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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イオンビームを対象物(薄膜物質)に照射し通り抜けたイオンによりポリエチレン中にラジカルを生成させグラフト重合させることで対象物の内部診断が期待できる。薄膜中の空孔径とポリエチレンにグラフト重合された像の径との比較などを行い,イオンビームグラフト重合を用いた薄膜内部診断の性能評価を行った。(著者抄録)