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J-GLOBAL ID：201202225704547390   整理番号：12A1440928

インクジェット印刷によるジルコン酸チタン酸鉛薄膜の製作

Fabrication of Lead Zirconate Titanate Films by Inkjet Printing

著者 (6件)： MACHIDA Osamu (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  SHIMOFUKU Akira (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  TASHIRO Ryo (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  TAKEUCHI Atsushi (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  AKIYAMA Yoshikazu (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN) ,  OHTA Eiichi (Ricoh Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 9,Issue 2  ページ： 09LA11.1-09LA11.4  発行年： 2012年09月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,微細パターンのジルコン酸チタン酸鉛(PZT)膜をインクジェット印刷(IJP),化学溶液成長(CSD),および表面エネルギーを制御する技術の組合わせで作製した。アクチュエーターとして用いられるPZT膜は,表面処理,インクジェット成長,およびベーキングのセットを繰り返した後,2μmの厚みとなる。この膜は,誘電率(ε_r)1700,損失正接(tanδ)0.05の,残留分極(P_r)10C/cm²,および抗電界E_c)23kV/cmを有した。膜の置換えから見積もられた圧電係数d₃₁は,77pm/Vと求まった。これらの結果は,この方法が圧電性のマイクロマシン技術(MEMS)製作の候補であることを示唆している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *インクジェット印刷 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *溶液成長 ,  表面エネルギー ,  *アクチュエータ ,  *表面処理 ,  *焼成 ,  誘電率 ,  損失正接 ,  残留分極 ,  抗電場 ,  係数 ,  定数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： *圧電アクチュエータ ,  圧電係数 ,  *化学溶液堆積 ,  抗電界 ,  *ベーキング【焼成】

分類 (3件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (20件)：

• 1) H. Sirringhaus, T. Kawase, R. H. Friend, T. Shimoda, M. Inbasekaran, W. Wu, and E. P. Woo: Science 290 (2000) 2123.
• 2) J. Z. Wang, H. Zheng, H. W. Li, W. T. S. Huck, and H. Sirringhaus: Nat. Mater. 3 (2004) 171.
• 3) K. Suzuki, K. Yutani, M. Nakashima, A. Onodera, S. Mizukami, M. Kato, T. Tano, and H. Tomono: J. Photopolym. Sci. Technol. 24 (2011) 565.
• 4) H. Saito, M. Ueda, and Y. Matsuba: Proc. Int. Symp. Microelectronics, 2004, p. 189.
• 5) T. Masuda, Y. Miyaguchi, M. Tanimura, Y. Nishioka, K. Suu, and N. Tani: Appl. Surf. Sci. 169-170 (2001) 539.

タイトルに関連する用語 (4件)： インクジェット印刷 ,  ジルコン酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  製作