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J-GLOBAL ID：201202225855949287   整理番号：12A0363699

LiCoO₂膜のイオンビームによるスパッタ蒸着

Ion beam sputter-deposition of LiCoO₂ films

著者 (4件)： STOCKHOFF Tobias ,  GALLASCH Tobias ,  BERKEMEIER Frank ,  SCHMITZ Guido
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 9  ページ： 3668-3674  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： イオンビームスパッタ蒸着法により,200nm厚さのLiCoO₂膜が生成する。膜の構造的,電気的および電気化学的性質を,X線回折(XRD),電気的直流測定,及び電子エネルギー損失分光法(EELS)の手段により研究する。基板温度や酸素分圧のような調製パラメータの影響を調べる。純アルゴン雰囲気下でスパッタ蒸着した膜において酸素欠損が膜で観察されたが,O₂添加下でスパッタ蒸着した膜の場合,薄膜の酸素含有量が著しく増加する。300以下の基板温度で,XRD測定から低温相と同様の格子構造が明らかにされ,一方高温相の形成が,500°C以上の温度と3/2のアルゴン/酸素比で明瞭に観察される。さらに,EELS手法から,スパッタ蒸着薄膜のリチウム化状態を特性化する高感度ツールであることが示される。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオンビーム ,  *スパッタ蒸着 ,  *コバルト酸塩 ,  リチウム化合物 ,  X線回折 ,  *電子エネルギー損失分光法 ,  電気伝導率 ,  基板温度 ,  *パラメータ ,  含有量 ,  点欠陥
準シソーラス用語： 電気伝導度 ,  酸素含有量 ,  酸素欠損

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電子分光スペクトル  (BM09060K) ,  その他の無機化合物の電気伝導  (BM03044O)

タイトルに関連する用語 (2件)： イオンビーム ,  スパッタ蒸着