抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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単結晶シリコン製のマイクロスケール燃焼器を空力および熱力学的に検討して設計,製作し,実験で確認した。初めに燃焼効率と反応速度パラメータに関する燃焼速度モデルを用いて燃焼効率70%を選定し,一方,燃焼の保炎再循環領域と火炎伝播領域の推算により燃焼チャンバーの概略寸法を決定した。次に燃料の蒸発,混合過程にWSR(完全攪拌反応)モデルを適用し,燃料/空気の当量比と燃焼負荷パラメータCLPを用いて安定燃焼範囲を確認した。同検討をもとにマイクロスケール燃焼器を設計し,7枚のシリコンウエハーをUVリソグラフィー,エッチング等で加工,試作した。水素燃料/空気を用いた燃焼実験により,燃焼温度,燃焼効率と当量比の関係等のデータを取得し,当量比0.8で燃焼温度1350°C,最大燃焼効率68%等の結果を得た。燃焼が安定領域に在り,火炎吹き消えをCLP値により予測可能でDamkohler数と整合すること,対流伝熱が支配的であること等を考察した。最後に燃焼効率計算,燃焼チャンバー寸法計算,安定燃焼範囲の確認等の設計手順と推奨項目を示した。