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J-GLOBAL ID：201202226455136380   整理番号：12A1013150

フェムト秒レーザ照射によるゲルマニウム中のナノスパイク微細構造の自発的形成

Spontaneous formation of nanospiked microstructures in germanium by femtosecond laser irradiation

著者 (3件)： NAYAK B. K. (Univ. of Virginia, VA) ,  GUPTA M. C. (Univ. of Virginia, VA) ,  KOLASINSKI K. W.
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 18  号： 19  ページ： 4 PP.  発行年： 2007年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SF₆環境においてフェムト秒レーザパルスにゲルマニウム表面を露出することにより,円錐形微細構造上にナノスパイクのほぼ規則的配列が自発的に形成されるという新しい現象を報告する。シリコンレーザテクスチャ化は報告されているが,Geのレーザ微細テクスチャ化,特に円錐形微細構造上のナノスパイクの観察については何らの情報も公表されていない。このナノスパイクは高さ約2μm,先端の半径は100nmであり,幅約5μm,高さ10μmの円錐形微細構造上に形成される。先端の半径は簡単な化学エッチングにより~10nmにまで尖鋭化できた。より高いレーザフルエンスとより少数のショットが,ナノスパイクの形成には有利である。高いフルエンスでショット数を増加させることにより,表面形態は円錐形微細構造から高い直立壁ピラー型構造に変化し,ナノスパイクは消滅する。ゲルマニウムのこの表面形態をシリコンと比較した。ゲルマニウム試料はレーザ処理後に完全に黒くなる。換言すると,可視スペクトルの全域にわたり反射率は著しく減少する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： パルスレーザ ,  *パルスレーザ照射 ,  *ゲルマニウム ,  *微細構造 ,  *表面構造 ,  反射率 ,  表面処理 ,  エッチング ,  フェムト秒レーザ ,  *表面形態 ,  *構造
準シソーラス用語： *ナノスパイク ,  化学エッチング

分類 (1件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (4件)： フェムト秒レーザ ,  ゲルマニウム ,  スパイク ,  微細構造