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J-GLOBAL ID：201202227669195453   整理番号：12A0663294

ヘリウム漏れ検出

Helium Leak Detection

著者 (1件)： HUMBERSTONE Geoff (Metallurgical High Vacuum Corp., Mich.)
資料名： Industrial Heating  (Industrial Heating)
巻： 2012  号： Mar  ページ： 43-45  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： C0165A  ISSN： 0019-8374  CODEN： INHTA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しく開発したヘリウム漏れ検出器(Varian959Porta Testモデル)について紹介した。検出器の真空チャンバーへの接続例を示し,動作確認の手順を説明した。検出器を接続する場所は,検出感度と低バックグラウンド間のトレードオフの関係を持つ。主チャンバーに接続すれば感度は低下するが,バックグラウンドは最小となる。メカニカルポンプインレットに接続すれば最大の感度が得られるが,バックグラウンドは最大となるであろう。バックグラウンドが10^-4または0^-3cc/秒の大きな漏れを示す場合には,適正なバックグラウンドに低下するまで修理が必要である。リークチェックの項目には,出力フィードスルー,ドア及び窓のシール,接続部シール等がある。

シソーラス用語： *ヘリウム ,  *漏れ検出器 ,  *真空容器 ,  接続 ,  感度 ,  バックグラウンド ,  真空度 ,  真空シール

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (1件)： ヘリウム