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J-GLOBAL ID:201202228077861015   整理番号:12A0269117

ディジタルShack-Hartmann波面センシングの走査戦略の最適化

Optimization of scanning strategy of digital Shack-Hartmann wavefront sensing
著者 (4件):
資料名:
巻: 51  号:ページ: 121  発行年: 2012年01月01日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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一般Shack-Hartmann波面センシング(SHWS)システムにおいて,高横分解能を達成するには,小型レンズアレイの配置を大きくすることが必要である。しかし,実際に実現する場合には,この配置が制限された。また,パラメータは測定範囲と矛盾する。空間光変調素子の高い柔軟性を利用して,反射波面をサンプリングするディジタル走査技術を提案した。[X.Li,L.P.Zhao,Z.P.Fang,and C.S.Tan,「ディジタル走査技術での波面センシングの横分解能の改良」,Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (2006)]に基づいた。全開口を横方向走査するように,小型レンズアレイパターンをプログラム化した。本論文では,形状測定を実施するために,走査ステップの最適化を提案した。数値シミュレーションと実験研究で正確性と有効性を実証した。(翻訳著者抄録)
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