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J-GLOBAL ID：201202228409913049   整理番号：12A1371605

スペクトル分解白色光干渉測定に基づく単発二次元表面測定

Single-shot two-dimensional surface measurement based on spectrally resolved white-light interferometry

著者 (2件)： ZHU Pei ,  WANG Kaiwei
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 21  ページ： 4971-4975  発行年： 2012年07月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スペクトル分解白色光干渉測定(SRWLI)を利用し,スペクトルドメインで位相情報を解析することで,干渉縞の単一フレームで分布を得ることができる。ここでは,狭い矩形領域の評価に適用できる二次元(2D)SRWLI法を示した。Fabry-Perot(F-P)エタロンを用いて,周波数コムを生成し,広帯域光源をフィルタリングした。周波数コム照射をフィルタリングして,隣接波長での干渉縞の距離を少し分離できた。これにより,小さな幅で2D分布を得ることができた。本論文では,ステップ試料の詳細な測定実験を検討した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： スペクトル分解 ,  フィルタリング ,  エタロン ,  *干渉測定 ,  白色光 ,  二次元 ,  *表面性状 ,  位相測定 ,  干渉縞 ,  Fabry-Perot干渉計 ,  広帯域
準シソーラス用語： 周波数コム

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (3件)： スペクトル分解 ,  白色光 ,  干渉測定