文献

J-GLOBAL ID：201202228827271231   整理番号：12A1754213

可変圧力/環境SEMに対する単一ポテンシャルレンズ構造を有する二次電子検出器

Secondary electron detector with the unipotential lens structure for Variable Pressure/Environmental SEM

著者 (2件)： SLOWKO Witold (Wroclaw Univ. of Technol., Wroclaw, POL) ,  KRYSZTOF Michal (Wroclaw Univ. of Technol., Wroclaw, POL)
資料名： Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena  (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 186  ページ： 24-27  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0583A  ISSN： 1012-0394  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 可変 ,  環境 ,  SEM ,  ポテンシャル ,  レンズ構造 ,  電子検出器