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J-GLOBAL ID：201202229101843380   整理番号：12A1222113

ナノ秒レーザ加工での超音波振動の効果に関する研究

A study on the effect of ultrasonic vibration in nanosecond laser machining

著者 (5件)： KANG Bongchul (Dep. of Mechanical Engineering, Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), 305-701, KOR) ,  WOO KIM Gun (Dep. of Mechanical Engineering, Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), 305-701, KOR) ,  YANG Minyang (Dep. of Mechanical Engineering, Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol. (KAIST), 305-701, KOR) ,  CHO Sung-hak (Div. of Nano Convergence and Mechanical Systems Res., Korea Inst. of Machinery and Materials (KIMM), 305-343, KOR) ,  PARK Jong- Kweon (Div. of Nano Convergence and Mechanical Systems Res., Korea Inst. of Machinery and Materials (KIMM), 305-343, KOR)
資料名： Optics and Lasers in Engineering  (Optics and Lasers in Engineering)
巻： 50  号： 12  ページ： 1817-1822  発行年： 2012年12月 
JST資料番号： A0602B  ISSN： 0143-8166  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ加工は,多様な産業製造場で利用されている。しかし,加工面の表面仕上は,加工面に再堆積するナノ粒子の凝集で作られる改作層で劣化する。本研究では,加工面の品質を改良するために,ナノ秒レーザ加工の工程に,超音波振動を印加することを提案した。共鳴型超音波振動モジュールを設計し,一方向性運動を実現した。加工面での超音波振動の効果を研究するために,多様な加工条件で,機械加工領域に再堆積する粒子の形態的変化を観測した。この結果,超音波振動で誘導された近視野表面冷却の増強により,表面仕上が改良されることを示した。このような振動効果は,反復加工で顕著であることが判明した。加工面の成分分析から,振動により,改作層の形成と表面酸化を妨げることが分かった。この結果,ナノ秒レーザ加工での超音波振動は有効で,加工面の物理的と化学的品質を改良することが判明した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  モジュール ,  *超音波振動 ,  *表面仕上 ,  機械工作 ,  加工条件 ,  酸化膜 ,  ナノ粒子 ,  化学組成 ,  ナノ秒
準シソーラス用語： 表面酸化

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  その他の音響応用  (BB03100I)

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノ秒レーザ加工 ,  超音波振動 ,  研究