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J-GLOBAL ID：201202229378043810   整理番号：12A0645444

UVキュア可能な高分子を使用したマクロ/ナノ金属パターン転写

Micro/nano-patterned metal transfer using UV-curable polymers

著者 (4件)： HSU S-H (National Univ. Kaohsiung, Kaohsiung, TWN) ,  SU H-C (National Univ. Kaohsiung, Kaohsiung, TWN) ,  CHUNG Y-C (National Univ. Kaohsiung, Kaohsiung, TWN) ,  CHUNG Y-C (National Cheng Kung Univ., Tainan, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 3  ページ： 035008,1-9  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノインプリントとマイクロコンタクトプリンティング法の幾つかの利点を持つ直接金属パターン転写法は,フレキシブル基板やリジッド基板上に低コストの装置で高速にパターン転写をすることができる。本稿では,従来のパターン転写法に比べて均一転写性の改良と比較的広いプロセス幅を持つマイクロ/ナノ金属パターン転写法について報告した。使用する高分子は,グリシドメタクリレート,ポリウレタンジアクリレート(PU-2)と酸素感受性重合開始剤を含み,UV照射により高分子化する。イソボニルアクリレート,ヘクサアクリレート化PU(PU-6)と酸素重合開始剤を含むもう1種類のUVキュア可能な高分子をマスターモールドとして使用した。モールド上にプレコートした金層を一部キュアした中間層に転写する。短時間UV照射後に,この一部キュアした高分子はパターン形状を維持することができた。この方法を使ってマイクロやナノ形状を持つ複雑なパターンを製作した。この方法はマイクロ電極やフレキシブル回路の直接プリンティング法として有効である。

シソーラス用語： *フレキシブル基板 ,  *パターン転写 ,  重合開始剤 ,  *紫外線照射 ,  カルボン酸エステル ,  ビニル化合物 ,  脂肪族カルボン酸 ,  不飽和カルボン酸 ,  母型 ,  光架橋 ,  高分子 ,  押付成形
準シソーラス用語： アクリラート ,  ナノインプリント ,  高分子材料 ,  フレキシブル回路

分類 (1件)： プリント回路  (NA05040O)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高分子 ,  マクロ ,  パターン転写