二重層状アノード酸化法を使ったガス検出用のTiO<sub>2</sub>ナノロッドアレイの容易な作製

LIN Hsiao-Wei; CHANG Yung-Huang; CHEN Chih

文献

J-GLOBAL ID：201202230158620467 整理番号：12A0214810

二重層状アノード酸化法を使ったガス検出用のTiO₂ナノロッドアレイの容易な作製

Facile Fabrication of TiO₂ Nanorod Arrays for Gas Sensing using Double-Layered Anodic Oxidation Method

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資料名：
巻： 159 号： 1 ページ： K5-K9 発行年： 2012年
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

石英基板上のTiO₂ナノロッドの簡単な作製法を開発した。平坦な石英基板上に電子ビーム蒸着により130nm厚みのTi層を堆積後,真空蒸着によって700nm厚みのAl層を堆積した。このTi-Al重合せ金属層のモルフォロジーを二段階のアノード酸化によって制御して,その上に自己整列TiO₂ナノロッドアレイを形成した。この方法でナノロッドアレイの密度とアスペクト比を十分に制御することができた。XPSによれば,ナノロッドは二酸化チタンからなり,表面に少量の酸化アルミニウムが存在した。TiO₂ナノロッドアレイを電界イオン化アノードとするガスセンサを作製し,良好な選択性と低い作用電界が得られることを実証した。

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分析機器 , 熱電子放出,電界放出 , 酸化物薄膜

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二重層状アノード酸化法を使ったガス検出用のTiO2ナノロッドアレイの容易な作製

二重層状アノード酸化法を使ったガス検出用のTiO₂ナノロッドアレイの容易な作製