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J-GLOBAL ID：201202230796369305   整理番号：12A0597752

ポリシングパッド表面の微視的・巨視的性状に及ぼすコンディショニングの効果-パッド表面の微小面内変位特性と溝近傍におけるコンタクト解析-

著者 (8件)： 畝田道雄 (金沢工大) ,  畝田道雄 (九大 大学院) ,  表辰憲 (金沢工大 大学院) ,  澁谷和孝 (不二越機械工業) ,  中村由夫 (不二越機械工業) ,  市川大造 (不二越機械工業) ,  石川憲一 (金沢工大) ,  土肥俊郎 (九大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J44  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,コンディショニングがポリシングパッドに及ぼす影響の解明を目的に,パッド表面状態の微視的,並びに巨視的な評価手法を提案し,現在までに各種検討を行っている。本報告では,IC1000を検討対象として,デジタル画像相関法を用いたパッド表面の微小変形特性の評価,並びに接触画像解析法を用いたパッド溝近傍におけるコンタクト状態の評価を行った結果を述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： 艶出し ,  *切削工具 ,  変位 ,  相関 ,  *変形 ,  溝 ,  *砥粒
準シソーラス用語： ディジタル画像相関法 ,  *研磨パッド ,  *微小変形 ,  面内変位

分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (8件)： 性状 ,  コンディショニング ,  パッド ,  微小 ,  面内変位 ,  近傍 ,  コンタクト ,  解析