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J-GLOBAL ID：201202230845778488   整理番号：12A1704364

垂直走査白色光干渉測定による薄膜の厚み測定の感度解析

Sensitivity analysis of thin-film thickness measurement by vertical scanning white-light interferometry

著者 (2件)： DONG Jing-tao ,  LU Rong-sheng
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 23  ページ： 5668-5675  発行年： 2012年08月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 垂直走査白色光干渉測定(VSWLI)で薄膜の厚み分布を評価するために,スペクトル非線形位相法とFourier振幅法が適用される。しかし,これらの方法には欠点があり,したがって,その応用は制限された。本論文では,二つの方法において,VSWLIの入射光スペクトル領域,対物レンズ数値開口,膜厚と屈折率が,この感度に及ぼす影響を研究した。波長効果とFresnel反射係数との関係も検討した。いくつかの重要な研究結果から,Fourier振幅法と非線形位相法を組み合わせることで,薄膜厚み分布のVSWLI測定感度を改良する新しい方法を実現できることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 対物レンズ ,  *厚み測定 ,  開口数 ,  感度解析 ,  反射率 ,  屈折率 ,  *光干渉法 ,  白色光 ,  *薄膜 ,  光走査 ,  垂直方向 ,  膜厚
準シソーラス用語： 厚み分布 ,  数値開口 ,  反射係数

分類 (2件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 垂直 ,  走査 ,  白色光 ,  干渉測定 ,  薄膜 ,  厚み測定 ,  感度解析