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J-GLOBAL ID：201202230913232731   整理番号：12A0871575

インライン検査/セラミック生テープの厚さ測定

Inline Inspection/Thickness Measurement of Ceramic Green Tapes

著者 (1件)： RONNIGER Rainer (KARO Electronics Vertriebs GmbH, Dresden, DEU)
資料名： Ceramic Forum International  (Ceramic Forum International)
巻： 89  号： 4  ページ： E34-E36  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： B0067A  ISSN： 0173-9913  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テープキャスティングした生テープの厚さを測定する方法を述べた。第1の方法は,ガンマ線またはベータ線放射測定で,既に50年以上チップコンデンサ業界で使用されている。この装置は線源,タングステン遮蔽シリンダーとコリメーターおよび検出結晶からなる。この方法はより大きい面積を測定するため,ピークや場所による差の検出ができない。しかし,非常に高精度のため,多くの高品質用の応用に用いられる。設置には安全性の認可が必要である。第2は,レーザ三角法で,光線があたる角度で厚さを測定するもので,非常に正確である。この方法の一つの欠点は,スポットの大きさが小さいため,走査速度が小さいことである。第3は,CCDカメラ法で,これは真の厚さは測定できないが,表面欠陥の検出に優れている。最後に,ラインカメラによる3Dプロファイリングである。白色光をスペクトルの色に分解し,カメラがレーザ3角法の場合と同様に反射光信号をとらえる。この方法の精度は0.1μmである。個々のスポットの真の厚さ測定は,ラインカメラによる3Dプロファイリングでのみ可能である。

シソーラス用語： *セラミック ,  *薄板 ,  *厚み測定 ,  *インライン処理 ,  γ線照射 ,  β線照射 ,  レーザ照射 ,  CCDカメラ ,  表面欠陥
準シソーラス用語： *グリーンテープ

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： インライン ,  検査 ,  セラミック ,  テープ ,  厚さ測定