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J-GLOBAL ID：201202231175099319   整理番号：12A1037090

モデル化ヒステリシスのない微細位置決め圧電ステージのモデル予測離散時間スライディングモード制御

Model Predictive Discrete-Time Sliding Mode Control of a Nanopositioning Piezostage Without Modeling Hysteresis

著者 (2件)： XU Qingsong (Univ. Macau, Macao, CHN) ,  LI Yangmin (Univ. Macau, Macao, CHN)
資料名： IEEE Transactions on Control Systems Technology  (IEEE Transactions on Control Systems Technology)
巻： 20  号： 4  ページ： 983-994  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W0515A  ISSN： 1063-6536  CODEN： IETTE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文で提示された結果は,圧電性アクチュエータを持つ微細位置決めステージは2次質量-スプリング-ダンパーシステムモデルのみを使用して精密に制御できることを示す。そのような特性は,比例-積分スライディング機能を持つ提案されたモデル予測離散時間スライディングモード制御装置により可能にされる。MPC(モデル予測制御)戦略が最適な方法でO(T3)境界層があるスライド表面の近くでシステム状態をスライドさせることを見出した。MPDSMC(モデル予測離散時間スライディングモード制御)でのPI動作はスライディングモードにおいて,O(T2)の境界層に状態追従誤差を駆動する。実験結果は,提案された制御装置がPIDとDSMCアプローチの両方と比べて追跡性能を向上させること確認する。その他,ヒステリシスは実質的に1.7%まで減少し,そして,微細位置決めステージにより50nmの動的分解能が達成された。

シソーラス用語： 予測制御 ,  *スライディングモード制御 ,  離散時間系 ,  ヒステリシス ,  モデリング ,  *圧電素子 ,  制御装置 ,  分解能
準シソーラス用語： モデル化 ,  *モデル予測制御

分類 (2件)： システム設計・解析  (IA02030D) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： モデル化 ,  ヒステリシス ,  圧電 ,  ステージ ,  モデル予測 ,  スライディングモード制御