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J-GLOBAL ID:201202231455241749   整理番号:12A1510435

FD SOI MOSFETにおけるゲート電圧による生成再結合雑音の依存性

Dependence of Generation-Recombination Noise With Gate Voltage in FD SOI MOSFETs
著者 (8件):
資料名:
巻: 59  号: 10  ページ: 2780-2786  発行年: 2012年10月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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雑音スペクトルにみられる生成再結合雑音の二つの要素は,1/fとLorentz成分である。1/f雑音はSi/SiO2界面にある欠陥に関連する。Lorentzスペクトルのコーナー周波数がゲート電圧に独立ならば雑音は空乏層の捕獲準位に関係する。この過程は中性で空乏化した反転領域が明確に定められるMOSFETでは有効だが,完全空乏化(FD)したSOIトランジスタでは成り立たないことを示した。Lorentzスペクトルコーナー周波数のゲート電圧依存性はバルクトランジスタの定常挙動と異なる。コーナー周波数のシフトはキャラクタリゼーションプロセスを簡単にし,エネルギー位置,捕獲断面積,トラップ密度の決定に役立つ。
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分類 (1件):
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トランジスタ 

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