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J-GLOBAL ID：201202231929238469   整理番号：12A1652917

スティッチング干渉計を使った球面測定法

Sphericity Measurement Using Stitching Interferometry

著者 (4件)： HAGINO Takeshi (Mitutoyo Tsukuba Lab., Ibaraki, JPN) ,  YOKOYAMA Yuichiro (Mitutoyo Tsukuba Lab., Ibaraki, JPN) ,  KURIYAMA Yutaka (Mitutoyo Tsukuba Lab., Ibaraki, JPN) ,  HAITJEMA Han (Mitutoyo Res. Center Europe B.V., Best, NLD)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 523/524  ページ： 883-888  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 球面物体は種々の機械の構成部品として様々な使われ方をしており,高い工作精度の球面が求められている。本論文では,スティッチング干渉計を使った実用的な球面度測定システムを開発した。当該システムは,球体の局所的球面を測定するFizeau型干渉計と柄を使った球体を操作するための5軸ステージで構成されている。当該システムを使った測定値の標準偏差は8回の実験で5nmよりも小さかった。システム構成および配置を示した。

シソーラス用語： *球面 ,  *計測 ,  *干渉計
準シソーラス用語： Fizeau干渉計

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： スティッチング ,  干渉計 ,  球面 ,  測定法