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J-GLOBAL ID:201202232216148962   整理番号:12A0893916

増強した直列同調技術を用いた横方向バルク音響共振器基準発振器の電子温度補償

Electronic Temperature Compensation of Lateral Bulk Acoustic Resonator Reference Oscillators Using Enhanced Series Tuning Technique
著者 (6件):
資料名:
巻: 47  号:ページ: 1381-1393  発行年: 2012年06月 
JST資料番号: B0761A  ISSN: 0018-9200  CODEN: IJSCBC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本論文は,横方向微小機械発振器に対する直列同調の実証と,圧電横方向バルク音響共振器(LBAR)微小機械発振器に対するその応用についてレポートした。横方向に励起した微小機械共振器に対して,同調改善による電子同調に基づく温度補償の実行可能性について実証した。2つの窒化アルミニウム-オン-シリコン(AlN-オン-Si)圧電LBAR,427MHzで動作する1つと,541MHzで動作するもう1つ,を発振を維持するために,13mW 3段可変同調TIAと接続した。発振器の同調性能を評価するために,3つの0.18μm CMOSサスティニング増幅器を設計し,特性評価し,2つの高Q427MHzおよび541MHz AlN-オン-Si共振器と接続した。
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分類 (1件):
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共振器 

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