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J-GLOBAL ID：201202232296968485   整理番号：12A1449347

流量計を使用するためにSU-8に基づいた流体媒質のマイクロ風車の設計と製作

Design and fabrication of micro-windmill for fluidic media based on SU-8 for using flow-meter

著者 (4件)： SABRI ALIREZAEI I. (Shahid Beheshti Univ., Tehran, IRN) ,  GHADERI M. (Shahid Beheshti Univ., Tehran, IRN) ,  KHALAFI M. (Shahid Beheshti Univ., Tehran, IRN) ,  LATIFI H. (Shahid Beheshti Univ., Tehran, IRN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8428  ページ： 84281H.1-84281H.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガス流により回転されるSU-8フォトレジストに基づいたマイクロ風車の設計および製作の方法を紹介した。SU-8フォトレジストはマイクロ流体素子の構造材料としての使用に適する固有の特性を持つ。マイクロ風車を作製するUVリソグラフィ法を提案した。1,4mmの半径の4翼および8翼風車を構成した。ガス流の機能として回転周波数を測定することにより翼を比較した。その結果,マイクロ流量計の感度は翼の直径の低下と共に,また,翼の数の増加により高くなることが分かった。

シソーラス用語： *流量計 ,  *風車 ,  リソグラフィー ,  フォトレジスト ,  翼
準シソーラス用語： *マイクロ風車

分類 (2件)： 流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K) ,  送風機,圧縮機,風車  (QD03000U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 流量計 ,  SU-8 ,  流体 ,  媒質 ,  風車 ,  設計 ,  製作