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J-GLOBAL ID：201202232532007386   整理番号：12A1154312

DLC膜の応用展開と国際標準化の最前線 中性子反射率法を用いたDLC膜の水素および密度の定量化

著者 (1件)： 尾関和秀 (茨城大)
資料名： 工業材料  (Engineering Materials)
巻： 60  号： 9  ページ： 29-33  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 現在,DLC膜の水素定量法として,弾性反眺散乱分析(ERDA)法が最も有効とされているが,サンプルを損傷し,深さ方向の定量には向いていない。非破壊で大気中での測定が可能な中性子反射率法を用いたDLC膜の水素定量の新しい方法について紹介した。1)中性子と物質の相互作用,2)反射率法,3)中性子反射率によるDLC膜の水素および密度の導出,4)DLC膜作製と中性子反射率測定,5)水素および密度の算出結果およびERDA測定結果の比較。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  製膜 ,  反射率 ,  定量分析 ,  密度 ,  *水素 ,  計測 ,  中性子反射 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  研究施設 ,  散乱長 ,  非破壊検査 ,  含有量 ,  アルカン ,  J-PARC ,  中性子反射率 ,  反射率測定 ,  密度測定

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (8件)： DLC膜 ,  応用 ,  展開 ,  標準化 ,  中性子反射率 ,  水素 ,  密度 ,  定量化