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J-GLOBAL ID：201202233281580495   整理番号：12A0773150

CNT薄膜のリフトオフ加工に基づく柔軟なエネルギー貯蔵デバイス

FLEXIBLE ENERGY STORAGE DEVICES BASED ON LIFT-OFF OF CNT FILMS

著者 (3件)： KOZINDA A. (Univ. California at Berkeley, California, USA) ,  JIANG Y. (Univ. California at Berkeley, California, USA) ,  LIN L. (Univ. California at Berkeley, California, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.2  ページ： 1233-1236  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ボトム金属と接触するCNT薄膜によって構築された,機械的に可撓性で高密度に整列されたカーボンナノチューブ(CN)フォレストは,エネルギー貯蔵デバイスとして利用できる。本報では,水溶液支援のリフトオフ加工および緻密化のプロセスを用いて,柔軟なCNTスーパーキャパシタ電極を創造し,以下の特徴を明らかにした。それらは,1)整列されたCNTsから基板に対する電荷移動の卓越性,2)製造の容易さ,および3)種々の表面およびトポグラフィーとの合体に対するすぐれた適応性である。Au/Kapton薄膜における面積5×10mm²のCNTフォレストに対する予備試験を行なった。その結果得られた比キャパシタンスは,7.0mF/cm²であった。

シソーラス用語： *カーボンナノチューブ ,  *薄膜 ,  *微細加工 ,  *エネルギー貯蔵 ,  *柔軟性 ,  *電力コンデンサ ,  電力機器
準シソーラス用語： CNTフォレスト ,  エネルギー貯蔵デバイス ,  リフトオフ加工

分類 (2件)： エネルギー貯蔵  (LC02000F) ,  静電機器  (NB10020R)

タイトルに関連する用語 (4件)： CNT ,  薄膜 ,  リフトオフ加工 ,  エネルギー貯蔵