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J-GLOBAL ID：201202233499463601   整理番号：12A1218814

レーザマイクロ研磨面の研磨品質に及ぼす初期表面パラメータの影響

Impact of initial surface parameters on the final quality of laser micro-polished surfaces

著者 (3件)： CHOW Michael (Univ. Western Ontario, Ontario, CAN) ,  BORDATCHEV Evgueni V. (National Res. Council of Canada, Ontario, CAN) ,  KNOPF George K. (Univ. Western Ontario, Ontario, CAN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8248  ページ： 824809.1-824809.10  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面研磨法において,光学表面品質を実現し,表面品質を改良する微小加工技術として,レーザマイクロ研摩加工(LμP)が注目されている。LμPプロセスでは,低パワーエネルギーのレーザを利用する。融解材料の流動により,トップ表面で薄い超円滑層が形成される。LμPは,複合熱力学的過程である。融解材料の融解,流動,再分配は,様々なプロセスパラメータの影響を受ける。本論文では,レーザマイクロ研磨面において,研磨品質に及ぼす初期表面パラメータの影響について検討した。ボールエンドマイクロミリングを利用して,H13ツール鋼の初期表面を調製した。これをQスイッチNd:YAGレーザで研磨した。マイクロミリング構造の高さと幅を測定して,初期表面パラメータの影響を検討した。この結果,初期表面パラメータが研磨品質に影響することが分かった。プロセスパラメータを調節することによって,最終表面品質が改良されることが判明した。

シソーラス用語： Nd-YAGレーザ ,  プロセスパラメータ ,  環状構造 ,  表面性状 ,  YAGレーザ ,  *マイクロマシニング ,  *レーザ加工 ,  工作精度 ,  パラメータ ,  レーザ照射 ,  *研磨
準シソーラス用語： リング構造 ,  *レーザ研磨 ,  加工技術 ,  加工精度 ,  初期状態 ,  表面品質

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  研削  (QC03000R)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ ,  研磨面 ,  研磨 ,  初期 ,  パラメータ