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J-GLOBAL ID：201202233516318726   整理番号：12A1659880

二次イオン質量分析とX線回折による(Al,Ga)As合金の組成分析

Analysis of the composition of (Al,Ga)As alloys by secondary ion mass spectroscopy and X-ray diffractometry

著者 (5件)： DROZDOV Yu. N. (Russian Acad. of Sciences, Inst. for Physics of Microstructures, ul. Ul’yanova 46, 603950, Nizhni Novgorod, RUS) ,  DROZDOV M. N. (Russian Acad. of Sciences, Inst. for Physics of Microstructures, ul. Ul’yanova 46, 603950, Nizhni Novgorod, RUS) ,  DANILTSEV V. M. (Russian Acad. of Sciences, Inst. for Physics of Microstructures, ul. Ul’yanova 46, 603950, Nizhni Novgorod, RUS) ,  KHRIKIN O. I. (Russian Acad. of Sciences, Inst. for Physics of Microstructures, ul. Ul’yanova 46, 603950, Nizhni Novgorod, RUS) ,  YUNIN P. A. (Russian Acad. of Sciences, Inst. for Physics of Microstructures, ul. Ul’yanova 46, 603950, Nizhni Novgorod, RUS)
資料名： Semiconductors  (Semiconductors)
巻： 46  号： 11  ページ： 1392-1395  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： T0093A  ISSN： 1063-7826  CODEN： SMICES  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Al_xGa_1-xAs層中のレイヤーバイレイヤー母材元素濃度分析の検量線を飛行時間二次イオン質量分析計TOF.SIMS-5を用いて得た。一連の試験試料の合金組成は高分解能X線回折による格子定数とVegard則による弾性係数のずれから独立に計測した。二次イオン質量分析においてCs⁺をスパッタリングイオンにBi⁺をビームに選ぶと強度比Y(CsAl⁺)/Y(CsAs⁺)のx(AlAs)依存性は正イオンに対してはほとんど線形であり,負イオンの検出に当たってはY(Al₂As^-)/Y(As^-)のx依存性もほぼ線形である。これらのデータによりAl_xGa_1-xAs系中のレイヤーバイレイヤー分析プロフィルの正規化が可能となる。それに加えてX線データにおけるVegard則からの外れへの補正導入の簡便法を示唆する。Copyright 2012 Pleiades Publishing, Ltd. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *二次イオン質量分析 ,  *X線回折 ,  *ヒ化ガリウムアルミニウム ,  *検量線 ,  *格子定数 ,  法則 ,  *弾性係数 ,  セシウム ,  ビスマス ,  化合物半導体 ,  分析
準シソーラス用語： *Vegard則 ,  飛行時間二次イオン質量分析 ,  組成分析

分類 (2件)： 質量分析計  (BD02060M) ,  その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 二次イオン質量分析 ,  X線回折 ,  Al ,  Ga ,  As合金 ,  組成分析