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J-GLOBAL ID：201202233730429454   整理番号：12A0703194

In-situアニーリングによる単一層Fe-Pt合金膜の微細構造と磁気異方性

Microstructures and Magnetic Anisotropy of Single-Layered Fe-Pt Alloy Films by In-Situ Annealing

著者 (5件)： SUN Ta-Huang (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHEN Sheng-Chi (Ming Chi Univ. Technol., Taipei, TWN) ,  LIN Yu-Chin (Ming Chi Univ. Technol., Taipei, TWN) ,  OU Sin-Liang (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN) ,  CHEN Jiann-Ruey (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 2  ページ： 1440-1443  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 350~590°CのSi基板上にdcスパッタリングでin-situ堆積した厚さ30nmの単一層Fe-Pt膜の微細構造と磁気特性を調べた。X線回折によると,Fe-Pt膜の優先方位は基板温度と共に(111)から(001)に変化し,垂直磁気異方性に向かって傾いていく。基板温度350°CのFe-Pt膜は面内磁気異方性を示すが,400°C以上になると垂直磁気異方性が大きくなる。470°CのFe-Pt膜の垂直保持力と飽和磁化および垂直角形性はそれぞれ6.9kOe,674emu/cm³および0.89と,垂直磁気記録媒体に適した良好な垂直磁気性能を示した。Fe-Pt膜の秩序度は470°Cまでは増大し,結晶粒サイズは基板温度と共に増加した。

シソーラス用語： 単一層 ,  *白金合金 ,  *鉄含有合金 ,  金属間化合物 ,  *磁性薄膜 ,  スパッタ蒸着 ,  集合組織 ,  焼なまし ,  *磁化特性 ,  *垂直磁気異方性 ,  垂直磁気記録 ,  *磁気記録材料 ,  結晶粒度
準シソーラス用語： L10型金属間化合物

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の磁気異方性・磁気機械効果  (BM06102S) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (6件)： アニーリング ,  単一層 ,  Fe ,  Pt合金 ,  微細構造 ,  磁気異方性