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J-GLOBAL ID：201202233936815474   整理番号：12A1727370

ナノ構造用のパルスレーザ蒸着に於ける活発な種の重要性

The importance of the energetic species in pulsed laser deposition for nanostructuring

著者 (4件)： CASTELO A (CSIC, Madrid, ESP) ,  AFONSO C N (CSIC, Madrid, ESP) ,  PESCE E (UTTMATB-COMP, Brindisi, ITA) ,  PISCOPIELLO E (UTTMATB-COMP, Brindisi, ITA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 10  ページ： 105603,1-6  発行年： 2012年03月16日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 交互パルスレーザ蒸着(PLD)で作製されたアモルファス酸化Al(α-Al₂O₃)中に埋め込まれたAgナノ物体で形成されたナノ構造薄膜の光学的・構造的特性を報告する。目的はナノ構造用のPLDプロセスに含まれる活発な種の重要性理解である。実験試料は約3Jcm^-2のフルーエンスでターゲットに入射角45度で集束するArFエキシマレーザの交互PLDで蒸着された。試料は室温の回転Si,ガラス及び炭素基板に同時作製された。研究の結果,PLDプロセス中に基板に到達する種の高運動エネルギはナノ構造性能,特に酸化ホスト中の埋め込み金属ナノ対象に必要で有る。結果は他の蒸着技術に展開可能で有り,薄膜蒸着技術がナノ構造に適する事の理解を支援出来た。

シソーラス用語： *レーザ蒸着 ,  *ナノ構造 ,  非晶質 ,  酸化アルミニウム ,  *埋込み【挿入】 ,  *銀 ,  ナノ粒子 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 交互パルスレーザ蒸着

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノ構造 ,  パルスレーザ蒸着 ,  種 ,  重要性