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J-GLOBAL ID:201202234107971937   整理番号:12A1704327

上部平面とエッジ急勾配のスペクトル応答を有するハイブリッド集積光検出器

Hybrid integrated photodetector with flat-top steep-edge spectral response
著者 (8件):
資料名:
巻: 51  号: 24  ページ: 5767-5772  発行年: 2012年08月20日 
JST資料番号: B0026B  ISSN: 1559-128X  CODEN: APOPAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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上部平面とエッジ急勾配のスペクトル応答を有するハイブリッド集積光検出器を設計し製作した。これは,Siベースの多共振器Fabry-Perot(F-P)フィルタとInPベースのPIN吸収構造(0.2μmのIn0.53Ga0.47が吸着層)から成る。ハイブリッド集積光検出器の性能を理論的に研究した。各共振器の厚み,各反射鏡の対,ベンゾシクロブテン接着層の厚みなどの重要要素を考慮した。InPベースのPIN吸収構造とSiベース多共振器F-Pフィルタを結合することで,デバイスを製作した。ハイブリッド集積光検出器において,1549.2nm付近のピーク量子効率が55%,-0.5dBのバンドが0.43nm,25dBのバンドが1.06nm,3dBの帯域幅が16GHzであった。このデバイスは,多共振器F-P構造に基づいて,良好なフラットトップ急勾配エッジスペクトル応答を示した。(翻訳著者抄録)
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