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J-GLOBAL ID：201202234188307637   整理番号：12A0875703

金のナノ流体の圧電インクジェット印刷による3D微細構造

3D micro-structures by piezoelectric inkjet printing of gold nanofluids

著者 (8件)： KULLMANN Carmen (Univ. California at Berkeley, CA, USA) ,  KULLMANN Carmen (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  SCHIRMER Niklas C (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  LEE Ming-Tsang (Univ. California at Berkeley, CA, USA) ,  KO Seung Hwan (KAIST, Daejeon, KOR) ,  HOTZ Nico (Duke Univ., NC, USA) ,  GRIGOROPOULOS Costas P (Univ. California at Berkeley, CA, USA) ,  POULIKAKOS Dimos (ETH Zurich, Zurich, CHE)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 5  ページ： 055022,1-11  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,その場同時レーザアニールと選択的に組み合わせ,圧電インクジェット印刷により成長した3D微細-線,-壁そしてポケット線成長を実証した。加熱領域と同様室温で成長した線の導入したモデルは達成した多くの結果と良く一致する,ことを実証した。これらの結果は,結果的に最適印刷の熱領域モデリングになる,3D印刷が電圧と温度に如何に依存するかへの洞察含んだ。さらに,選択周波数と電圧範囲の微細-線と-壁成長のための提案した温度範囲に繋げて,異なる応用に依存する印刷温度の採用の概要を開発した。加えて,その場同時レーザアニールによる3D印刷は,特定の線形状を必要とするような応用,または高温領域(70°Cでの実証)でポケット線を必要とする応用で有益である,ことを実証した。結論として,本研究の中で論じた3D印刷構造は,成長,エッチまたは印刷ナノ構造間の間隙を埋める(たとえばナノメータ領域の3D印刷方式)ことが期待された。

シソーラス用語： 流体 ,  金 ,  *圧電気 ,  *インクジェット印刷 ,  *微細構造 ,  レーザアニーリング ,  モデリング ,  印刷 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： 3D印刷 ,  ナノメータ ,  *ナノ流体

分類 (2件)： 印刷  (ZA05040A) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 金 ,  ナノ流体 ,  圧電 ,  インクジェット印刷 ,  3D ,  微細構造