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J-GLOBAL ID：201202234599366979   整理番号：12A1000333

シリコン上のSnO₂/Ag/SnO₂三層における銀層不安定性

Silver layer instability in a SnO₂/Ag/SnO₂ trilayer on silicon

著者 (3件)： KIM Suk Jun ,  STACH Eric A. ,  HANDWERKER Carol A.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 19  ページ： 6189-6195  発行年： 2012年07月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化Si(100)基板上に室温で堆積させたSnO₂/Ag/SnO₂の三層は,100および200°Cでのアニーリング後に不安定になり,次の5現象,つまり,内部Agヒロックの形成,内部Agヒロック上でのトップSnO₂層の亀裂形成,粒子ピンチオフをもたらすSnO₂によるAg/Ag粒界の貫通,SnO₂の自由表面上での亀裂のあるトップ層を通るAgホイスカおよび島状構造の形成,ならびにAg層内での空孔欠陥形成,を示した。熱膨張不整合および表面エネルギーの減少に起因する不安定性の観測結果について,可能な駆動力および発展経路を論じた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *多層 ,  *酸化スズ ,  *銀 ,  *超薄膜 ,  物理蒸着 ,  基板 ,  ケイ素 ,  酸化膜 ,  焼なまし ,  亀裂 ,  空孔欠陥 ,  ホイスカ ,  ナノ構造 ,  島状構造 ,  表面エネルギー ,  不安定性 ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  走査電子顕微鏡 ,  熱膨張
準シソーラス用語： ナノ島状構造 ,  ヒロック ,  三層構造

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコン ,  Ag ,  銀 ,  不安定性