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J-GLOBAL ID：201202234773541610   整理番号：12A0676427

ダイヤモンド様カーボン薄膜の機械的および光学的性質に対するエクスサイチュ酸素プラズマ処理の役割

Role of ex-situ oxygen plasma treatments on the mechanical and optical properties of diamond-like carbon thin films

著者 (4件)： DWIVEDI Neeraj (Physics of Energy Harvesting Div., National Physical Lab. (CSIR), K.S. Krishnan Road, New Delhi 110012, IND) ,  DWIVEDI Neeraj (Dep. of Physics, Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi 110016, IND) ,  KUMAR Sushil (Physics of Energy Harvesting Div., National Physical Lab. (CSIR), K.S. Krishnan Road, New Delhi 110012, IND) ,  MALIK Hitendra K. (Dep. of Physics, Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi 110016, IND)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 134  号： 1  ページ： 7-12  発行年： 2012年05月15日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイヤモンド様カーボン(DLC)薄膜の機械的および光学的性質に対するエクスサイチュ酸素プラズマ(OP)処理の役割を調べた。この処理後のDLC膜は超剛性挙動を示し,100Vの自己バイアスで膜が成長し,続いて10分間のOP処理をした場合に,46.3GPaの最大剛性と423.2GPaの弾性率が得られる。さらに,被覆の色をOP処理の後に与えられ,それを著しく透過率の高まった無色の被覆にし,アンチグレアフィルム特性を改良する。DLC膜自身は茶色なので,そのようなOP処理DLC膜は,切削工具,自動車部品,磁気記録媒質および包装における無色の被覆のような応用性が考えられる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *薄膜 ,  *機械的性質 ,  *光学的性質 ,  *プラズマ処理 ,  剛性 ,  バイアス ,  弾性係数 ,  透過率
準シソーラス用語： *カーボン薄膜 ,  自己バイアス ,  弾性率

分類 (1件)： 物理化学一般その他  (CB01030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： ダイヤモンド ,  カーボン薄膜 ,  光学的性質 ,  酸素プラズマ ,  役割