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J-GLOBAL ID：201202234842920300   整理番号：12A0950351

耐摩耗性の増加と付着の減少のためにダイヤモンド-DLC複合被覆を施したナノプローブチップ

Composite diamond-DLC coated nanoprobe tips for wear resistance and adhesion reduction

著者 (5件)： GOU L.q. ,  SHI X.l. ,  ZHAO X.m. ,  BAI Y. ,  QIAO L.j.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 19-20  ページ： 4099-4105  発行年： 2012年05月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ケイ素プローブの耐摩耗性は原子間力顕微鏡(AFM)測定の品質と信頼性を保証するための極めて重要な問題である。この報告では,摩耗したチップで得られたアーチファクトの削減を目的としたケイ素プローブ上のダイヤモンドとダイヤモンド状炭素(DLC)の複合析出を調査した。プラズマ増強化学気相成長法で標準のAFMケイ素プローブにダイヤモンド-DLC複合膜を析出した。走査電子顕微鏡,AFMおよびラマン分光で皮膜のモルホロジーと組成をキャラクタライズした。ダイヤモンド-DLC複合析出を施したプローブの耐摩耗性と走査画質ならびに様々な湿度レベルでの付着力を測定した。得られた結果によればダイヤモンド-DLC複合析出によって,ケイ素プローブの付着と摩耗が減少し,有効な耐用期間が長くなった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロプローブ ,  *ダイヤモンド ,  *ダイヤモンド状炭素 ,  *複合膜 ,  *耐摩耗性 ,  *付着 ,  ケイ素 ,  原子間力顕微鏡 ,  アーチファクト ,  *プラズマCVD ,  耐用年数 ,  *チップ ,  副作用
準シソーラス用語： *ナノプローブ ,  *ナノプローブチップ ,  耐用期間

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 耐摩耗性 ,  ダイヤモンド ,  DLC ,  複合被覆 ,  プローブチップ